Novellus прокладывает медным проводникам трассу к 32 нм

Фирма Novellus Systems официально представила новое поколение промышленной системы, предназначенной для производителей полупроводниковых микросхем.

Главной особенностью новинки является способность снабдить переход К 45-нм и 32-нм технологическим нормам.

сейчас эта система уже используется в производстве по нормам 45 нм, говоря словами официального пресс-релиза, " лидирующим американским производителем DRAM " и " лидирующим американским производителем логических микросхем ". Повествование ведется о системе SABRE Extreme.

некоторое время назад система SABRE стала первой в промышленности серийной системой для медного гальванопокрытия. Когда в 1998 году в производстве полупроводниковых микросхем начался переход от алюминиевых проводников К медным, Novellus Systems смогла воспользоваться ситуацией и захватила инициативу. По информации источника, в 2005 SABRE принадлежало 80% соответствующего рынка, и 9 из 10 ведущих производителей, выпускающих микросхемы с медным�� проводникам��, использовали систему SABRE. В целом во всем мире в настоящее время работает более 250 подобных систем, которые каждый год обрабатывают 55 млн. полупроводниковых пластин. Продуманная стратегия Novellus, построенная на обратной совместимости новых версий системы обеспечивает плавный переход К перспективным нормам 45 и 32 нм.

К преимуществам системы SABRE Extreme производитель относит усовершенствованный процесс химической обработки, получивший название Viaform Extreme, способный снабдить повышенные показатели заполнения узких, вытянутых вертикально элементов, что экстремально надобно для 45-нм и 32-нм процессов. Помимо этого, в ячейках для электролиза использованы современные наработки в области создания мембран, что позволило увеличить результативность работы оборудования и уменьшить стоимость расходных материалов вдвое. Отмечается также, что в системе SABRE Extreme получилось минимизировать физические размеры " полей " по краю пластины, что позволило увеличить полезную площадь кристалла предположительно на 1% и увеличить выход готовой продукции в расчете на одну пластину .