Novellus прокладывает медным проводникам трассу к 32 нм

Фирма Novellus Systems официально представила новое поколение промышленной системы, предназначенной для производителей полупроводниковых микросхем.

��лавной ��собенностью ��овинки ��вляется ��пособность ��набдить ��ереход �� 45-��м �� 32-��м ��ехнологическим ��ормам.

��ейчас ��та ��истема ��же ��спользуется �� ��роизводстве ��о ��ормам 45 ��м, г��воря ��ловами ��фициальног�� ��ресс-��елиза, " ��идирующим ��мериканским ��роизводителем DRAM " �� " ��идирующим ��мериканским ��роизводителем ��огических ��икросхем ". ��овествование ��едется �� ��истеме SABRE Extreme.

��екоторое ��ремя ��азад ��истема SABRE ��тала ��ервой �� ��ромышленности ��ерийной ��истемой ��ля ��едного г��льванопокрытия. ��огда �� 1998 г��ду �� ��роизводстве ��олупроводниковых ��икросхем ��ачался ��ереход ��т ��люминиевых ��роводников �� ��едным, Novellus Systems ��могла ��оспользоваться ��итуацией �� ��ахватила ��нициативу. ��о ��нформации ��сточника, �� 2005 SABRE ��ринадлежало 80% ��оответствующего ��ынка, �� 9 ��з 10 ��едущих ��роизводителей, ��ыпускающих ��икросхем�� �� ��едными ��роводниками, ��спользовали ��истему SABRE. �� ��елом ��о ��сем ��ире �� ��астоящее ��ремя ��аботает ��олее 250 ��одобных ��истем, ��оторые ��аждый г��д ��брабатывают 55 ��лн. ��олупроводниковых ��ластин. ��родуманная ��тратегия Novellus, ��остроенная ��а ��братной ��овместимости ��овых ��ерсий ��истемы ��беспечивает ��лавный ��ереход �� ��ерспективным ��ормам 45 �� 32 ��м.

�� ��реимуществам ��истемы SABRE Extreme ��роизводитель ��тносит ��совершенствованный ��роцесс ��имической ��бработки, ��олучивший ��азвание Viaform Extreme, ��пособный ��набдить ��овышенные ��оказатели ��аполнения ��зких, ��ытянутых ��ертикально ��лементов, ��то ��кстремально ��адобно ��ля 45-��м �� 32-��м ��роцессов. ��омимо ��того, �� ��чейках ��ля ��лектролиза ��спользованы ��овременные ��аработки �� ��бласти ��оздания ��ембран, ��то ��озволило ��величить ��езультативность ��аботы ��борудования �� ��меньшить ��тоимость ��асходных ��атериалов ��двое. ��тмечается ��акже, ��то �� ��истеме SABRE Extreme ��олучилось ��инимизировать ��изические ��азмеры " ��олей " ��о ��раю ��ластины, ��то ��озволило ��величить ��олезную ��лощадь ��ристалла ��редположительно ��а 1% �� ��величить ��ыход г��товой ��родукции �� ��асчете ��а ��дну ��ластину .